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精捷真空設(shè)備

INTENSIVE VACUUM EQUIPMENT

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愛(ài)德華羅茨真空泵
愛(ài)德華羅茨真空泵
更新時(shí)間:2020-09-25 12:30:13 [上一個(gè): 愛(ài)德華RV12真空泵 ]  [查看原圖]   [下一個(gè): 已經(jīng)沒(méi)有了 ]
詳情說(shuō)明 / Details

愛(ài)德華EH1200羅茨泵:
精捷真空EH機(jī)械增壓泵以簡(jiǎn)單的羅茨泵原理為基礎(chǔ),可用于壓力范圍為 0.01 10 mbar、需要抽速的應(yīng)用場(chǎng)合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對(duì)于大氣壓的高壓差的泵作為前級(jí)。
機(jī)械增壓泵在相對(duì)較低的壓力下工作,不會(huì)暴露在與前級(jí)泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下。

愛(ài)德華真空泵


愛(ài)德華真空泵應(yīng)用:

半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光


EH250

EH500

EH1200

EH2600

EH4200

排量(工作容積)

310 m3h-1 / 185 ft3min-1

505 m3h-1 / 300 ft3min-1

1195 m3h-1 / 715 ft3min-1

2590 m3h-1 / 1525 ft3min-1

4140 m3h-1 / 2440 ft3min-1

使用前級(jí)泵時(shí)的有效抽速

240 m3h-1 / 141 ft3min-1

350 m3h-1 / 206 ft3min-1

840 m3h-1 / 495 ft3min-1

1750 m3h-1 / 1031 ft3min-1

3100 m3h-1 / 1825 ft3min-1

泵的壓力差

0-180 mbar/0-140 Torr

0-110 mbar/0-83 Torr

0-90 mbar/0-68 Torr

0-80 mbar/0-60 Torr

0-60 mbar / 0-45 Torr

進(jìn)氣口連接

ISO63

ISO100

ISO160

ISO160

ISO250

出口連接

ISO40

ISO63

ISO100

ISO100

ISO100

轉(zhuǎn)速

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

0-2900 rpm

連續(xù)進(jìn)氣口工作壓力

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

0-1000 mbar/0-760 Torr

最大出口壓力

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

1000 mbar/760 Torr

推薦的前級(jí)泵

GV80E1M/E2M40E1M/E2M80

GV80E2M80

GV160GV250
E2M80E2M175

GV250GV400
E2M175E2M275

GV400E2M275

電機(jī)功率

碳?xì)浠衔?/span>

2.2 kW / 3 hp

2.2 kW/3 hp

3 kW/4 hp

11 kW/15 hp

11 kW/15 hp

PFPE

1.5 kW / 2 hp

1.5 kW/2 hp

3 kW/4 hp

7.5 kW/10 hp

11 kW/15 hp

ATEX

2.2 kW

2.2 kW

3 kW

11 kW

11 kW

防爆

3 hp

3 hp

4 hp

15 hp

15 hp

環(huán)境溫度范圍

工作

5 40°C/40 104°F

5 40°C/40 104°F

5 40°C/40 104°F

5 40°C/40 104°F

5 40°C/40 104°F

存儲(chǔ)

-10 80°C/14 176°F

-10 80°C/14 176°F

-10 80°C/14 176°F

-10 80°C/14 176°F

-10 80°C/14 176°F

最大工作濕度

90% RH

90% RH

90% RH

90% RH

90% RH

推薦用油

Ultragrade 20

Ultragrade 20

Ultragrade 20

Ultragrade 20

Ultragrade 20

油容量

齒輪箱

1.25 l/1.3 qt

3.5 l/3.3 qt

3.5 l/3.3 qt

聯(lián)軸器蓋

1.5 l/1.6 qt

1.5 l/1.6 qt

1.5 l/1.6 qt

6.5 l/7 qt

6.5 l/7 qt

軸封儲(chǔ)油器

0.125 l/0.25 qt

0.125 l/0.25 qt

0.125 l/0.25 qt

1.5 l/1.4 qt

1.5 l/1.4 qt

重量

61 kg/134 lb

74 kg/163 lb

74 kg/163 lb

308 kg/6


適用于在 0.01  50 mbar/0.0075  37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過(guò) 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用行業(yè)。
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